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恒歌使用點(diǎn)專用氣體半導(dǎo)體過濾器

簡要描述:OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-13
  • 訪  問  量:356

詳細(xì)介紹


用于半導(dǎo)體應(yīng)用在線式氣體專用過濾器

產(chǎn)品介紹

OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

?100%完整性測(cè)試通過

?100%氦氣泄露檢測(cè)通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?;烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)



恒歌使用點(diǎn)專用氣體半導(dǎo)體過濾器
















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